Koreksi Pasal 53

(1) Sistem vakum sebagaimana dimaksud dalam Pasal 51 huruf c harus dilengkapi dengan: a. pompa vakum; dan b. manometer vakum. (2) Pompa vakum sebagaimana dimaksud pada ayat (1) huruf a meliputi: a. pompa vakum rendah (mekanik, rotary, dan sejenisnya); dan b. pompa vakum tinggi (difusi, turbo, kriogenik, dan sejenisnya). (3) Manometer vakum sebagaimana dimaksud pada ayat (1) huruf b meliputi: a. manometer vakum rendah (termokopel, atau sejenisnya); dan b. manometer vakum tinggi (ionisasi katoda dingin dan panas). (4) Sistem vakum sebagaimana dimaksud pada ayat (1) harus memiliki fungsi sistem pengaman saling kunci antarkomponen, yang terdiri atas: a. filamen pompa difusi yang terhubung secara saling kunci dengan sensor panas; dan b. filamen panas pompa difusi yang terhubung secara saling kunci dengan manometer.